用R2R方式量产LED用模具

用R2R方式量产用模具

采用纳米压印技术的精细图案形成技术对提高LED和有机EL等的发光效率也是有效的。东芝机械公司开发出了可将LED的发光效率提高20～ 0％的技术，其中包括专用的压印装置等（图7）。据称是利用在蓝宝石基板表面形成凹凸图案的 PSS （Patterned Sapphire Substrate，图形化蓝宝石衬底），提高了反射率等，从而提高了发光输出。

图7：以低成本提高LED的发光效率

图为东芝机械开发的、提高LED发光效率的技术及其装置（a～d）。利用纳米压印技术在生长GaN结晶的蓝宝石基板上形成图案，从而提高了反射率、减少了结晶缺陷等。LED的发光效率增加了20～ 0％。另外而周秀荣认为上面的 周秀荣 字迹不是她本人签的。山东永鼎司法鉴定中心对此单据进行了鉴定，通过卷对卷量产模具，还实现了低成本和高品质。（摄影：东芝机械）

存在的课题是如何减少模具的缺陷数量，以及如何使成本比用现有步进器形成图案时更具优势。 基板有缺陷，LED就不会发光除夕夜。而为了降低成本而反复使用模具，缺陷就会越来越多 （东芝机械纳米加工系统业务部副业务部长后藤博史）。

该公司针对这两个课题采取的对策是，把利用R2R方式大量复制的树脂模具制成一次性产品。 把4英寸晶圆的成本降到5美元以下的目标已有眉目 （后藤）。树脂模具还有一个优点，那就是适合不一定平坦的蓝宝石基板。

实现高品质GaN晶体

最近还出现了利用纳米压印技术进一步提高LED效率的可能性。古河机械金属、金泽工业大学、东芝机械以及早稻田大学副教授水野润的研究室利用纳米压印技术开发出了将GaN晶体的位错*降至大约原来的1%的方法（图8）。

图8：高品质GaN晶体的制作也非常活跃