专业半导体设备将摆脱进口.蹭飞

社会效果良好菲洛泰克（ferrotec）上海汉虹精密机械有限公司今天竣工并正式投产。该公司在多个领域填补了我国精工制作的空白，达到国际先进水平。

据了解，此前我国专业半导体设备主要依赖进口，汉虹精机的投产可填补国内空白。自去年开始，汉虹精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动，今年将生产8英寸单晶炉，后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上，还通过自主创新开展后续研发，目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。

本报讯（杨群）菲洛泰克（ferrotec）上海汉虹精密机械有限公司今天竣工并正式投产。该公司在多个领域填补了我国精工制作的空白，达到国际先进水平。

据了解，此前我国专业半导体设备主要依赖进口，汉虹精机的投产可填补国内空白。自去年开始，汉虹精机的6英寸单晶炉由半自动实现了全自动，今年将生产8英寸单晶炉，后年将有望生产12英寸单晶炉。在拥有知识产权的全自动8英寸单晶炉的基础上，还通过自主创新开展后续研发，目前正在进行EFG法晶体生长炉的调研。